Salutan seperti berlian DLC adalah filem nipis amorf yang metastable, yang mempunyai ciri-ciri berkualiti tinggi berlian dan grafit, dan mempunyai kelebihan kekerasan yang baik, kekonduksian terma, pekali geseran yang rendah, prestasi penebat elektrik yang sangat baik, kestabilan kimia yang tinggi, dan lain-lain, dan digunakan secara meluas. Lapisan DLC terutamanya disediakan oleh kaedah pengumpulan fasa wap fizikal dan kaedah pengumpulan fasa wap kimia, dan dihasilkan oleh peralatan pengumpulan khas. Berikut adalah pengenalan ringkas kepada lima bahagian yang membentuk peralatan pemendapan salutan.
1. Sistem Pemanasan dan Penyejukan Air
Sistem pemanasan dan sistem penyejukan air sama rata di sekitar bilik pengumpulan, dan suhu pemanasan, kelajuan dan jumlah air dapat dikawal dan laras, dan peranti penggera yang sepadan dipasang; Sistem berputar terletak di bahagian bawah ruang pengumpulan dan dilindungi oleh seramik penebat, dan kelajuan putaran dapat dikawal dan laras.
2. Sistem vakum
Sistem vakum terdiri daripada pam mekanikal, pam akar, pam penyebaran dan injap kawalan yang sepadan dan unsur -unsur pengukur, yang boleh secara bebas beralih antara vakum tinggi dan rendah mengikut keperluan proses.
3. Sistem bekalan gas
Sistem bekalan gas diletakkan di bahagian atas ruang pengumpulan, dan jenis gas termasuk H2, N2, AR, CHA, C2H2, dan gas yang mengandungi SI, dan dua antara muka dikhaskan di bahagian atas ruang pengumpulan untuk memudahkan penambahan jenis gas lain pada masa akan datang.
Untuk mendapatkan lapisan peralihan yang mengandungi Si, SIH4 biasanya digunakan sebagai gas material, tetapi SIH4 lebih berbahaya, jadi kami memilih gas yang mengandungi Si yang kurang berbahaya sebagai sumber SI dalam pemprosesan salutan.
4. Sistem sasaran yang menyusun
Peralatan ini mempunyai dua unit penyusun, PVD dan PCVD, niat utama unit PCVD adalah untuk pengumpulan berlian seperti (DLC), bekalan kuasa yang dipilih adalah bekalan kuasa modulasi nadi, parameter boleh diselaraskan satu demi satu, selepas penyesuaian parameter, Ia juga boleh dilapisi pada bahan kerja kompleks; Niat utama unit PVD adalah: (1) Bagi substrat yang berbeza, sasaran yang berbeza boleh digantikan dengan sasaran yang berbeza, dan lapisan pelekat yang berbeza atau lapisan DLC logam yang mengandungi pelbagai unsur boleh dibangunkan; (2) Selepas menggantikan sasaran, pelbagai lapisan komposit "lapisan berfungsi + DLC" untuk kategori yang berbeza boleh dibentuk.
5. Sistem Kawalan Elektrik
Sistem Kawalan Elektrik Mengadopsi PLC Kawalan Aktif PLC, termasuk komputer tuan rumah, pengawal yang boleh diprogramkan PLC, penukar penyesuaian, bekalan kuasa kawalan, bekalan kuasa kawalan vakum dan sistem pengukuran, bekalan kuasa kawalan udara, sistem kawalan suhu, penyejukan kuasa kawalan kuasa, dan sebagainya. dan dipantau secara real time. Sekiranya terdapat masalah, peranti akan mengambil inisiatif untuk penggera, dan mengikut tahap penggera, peranti akan memilih keadaan "menunggu" atau berhenti secara langsung, dan terus beroperasi selepas penggera dihapuskan. Rekod operasi dan rekod penggera setiap relau disimpan secara aktif dalam komputer untuk rujukan mudah. Mengikut keperluan, peralatan boleh ditukar kepada operasi manual sepenuhnya, dan parameter salutan boleh diselaraskan dalam antara muka operasi utama semasa proses salutan.