Dalam proses pembuatan semikonduktor moden, robot wafer, sebagai salah satu peralatan utama, memainkan peranan penting. Robot wafer digunakan terutamanya untuk pengendalian, pengisihan dan pemprosesan wafer, dan ketepatan dan kecekapannya secara langsung mempengaruhi kecekapan dan hasil pengeluaran semikonduktor keseluruhan. Struktur dan prinsip kerja robot wafer adalah seperti berikut:
Struktur
1. Lengan robot: Lengan robot robot wafer biasanya direka dengan berbilang paksi untuk mencapai tahap kebebasan pergerakan yang tinggi. Jenis lengan robot yang biasa termasuk robot SCARA dan Cartesian.
2. Pengesan akhir: Ini ialah bahagian yang secara langsung menyentuh dan menangkap wafer, biasanya direka sebagai cawan sedutan vakum atau lekapan mekanikal untuk memastikan wafer stabil dan tidak rosak semasa pengendalian.
3. Sistem kawalan gerakan: termasuk motor servo dan pemacu, yang digunakan untuk mengawal pergerakan lengan robot untuk memastikan kedudukan yang tepat dan operasi yang lancar.
4. Sensor: digunakan untuk mengesan kedudukan, saiz dan status wafer, jenis sensor biasa termasuk sensor fotoelektrik dan sensor laser.
5. Sistem kawalan: termasuk pengawal dan perisian untuk pengaturcaraan dan mengawal operasi robot. Sistem kawalan sering mengintegrasikan algoritma lanjutan untuk membolehkan perancangan laluan optimum dan pembetulan ralat.
Bagaimana ia berfungsi
1.Permulaan dan kedudukan: Robot menentukan kedudukan dirinya dan wafer sasaran melalui penderia. Sistem kawalan memulakan kedudukan lengan robot dan menyediakannya untuk melaksanakan tugas pengendalian.
2. Dapatkan wafer: Mengikut arahan sistem kawalan, lengan robot bergerak ke kedudukan di mana wafer berada. Efektor akhir mencengkam wafer melalui cawan sedutan vakum atau pencengkam mekanikal untuk memastikan wafer stabil dan tidak rosak.
3. Pengendalian wafer: Lengan robotik mengangkut wafer ke lokasi sasaran di sepanjang laluan yang telah ditetapkan. Semasa proses ini, sistem kawalan gerakan memastikan lengan robotik bergerak dengan lancar dan wafer tidak mengalami kejutan atau getaran.
4. Peletakan wafer: Lengan robot akan meletakkan wafer tepat pada kedudukan sasaran, dan pengesan akhir akan melonggarkan wafer untuk menyelesaikan tugas pengendalian.
5. Kembali ke kedudukan awal: Lengan robot kembali ke kedudukan awal dan bersedia untuk melaksanakan tugas pengendalian seterusnya.
Kesimpulannya, robot wafer memainkan peranan penting dalam pembuatan semikonduktor, dan ketepatan dan kecekapan yang tinggi menjadikannya peralatan yang sangat diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor.
