Lam Research baru-baru ini memperkenalkan Dextro, robot kerjasama pertama di dunia yang direka untuk penyelenggaraan peralatan pembuatan semikonduktor, dan mengatakan bahawa robot itu telah digunakan oleh banyak fabrik terkemuka dunia.
Dextro cobot ialah unit lengan robot mudah alih yang terletak di atas troli dan dikawal oleh juruteknik pembuatan atau jurutera untuk melaksanakan tiga tugas penyelenggaraan peralatan utama dengan bantuan pelbagai "alat tangan":
2x lebih tepat daripada tangan manusia semasa memasang dan memampatkan bahan habis pakai;
Mengetatkan tepat bolt berkedap vakum berketepatan tinggi, dengan kadar ralat sehingga 5% apabila pekerja manusia melakukan tugas berulang ini dengan tangan;
Sebarang timbunan polimer pada dinding sisi ruang boleh dikeluarkan secara automatik tanpa membuka ruang bawah, satu tugas yang sebelum ini memerlukan peralatan pelindung pernafasan tugas berat.
Ini bermakna Dextro boleh membantu jurutera fab memuatkan tugas penyelenggaraan yang sering memakan masa, terdedah kepada ralat atau berbahaya, meningkatkan ketepatan keseluruhan proses, mengurangkan keperluan buruh, mengurangkan pembaziran, mengurangkan masa henti dan akhirnya meningkatkan hasil fab.
Lam berkata satu kobot Dextro boleh menyediakan 50 hingga 100 ruang alat Lam dan kini tersedia untuk menyokong alat etch dielektrik siri Flex G/H, dengan pengembangan kepada alatan dan aplikasi lain bermula pada 2025.
Kim Young Ju, Naib Presiden dan Ketua Pasukan Teknologi Etsa Memori di Samsung Electronics, berkata:
Apabila peralatan pembuatan memerlukan penyelenggaraan, adalah penting untuk menyelesaikan kerja dengan cepat dan cekap untuk mengelakkan masa henti alat yang berpanjangan dan kos pembaziran.
Penyelenggaraan bebas ralat Dextro membantu memacu peningkatan dalam kebolehubahan dan hasil pengeluaran. Ini merupakan pencapaian yang menarik untuk Samsung ke arah kilangnya sendiri.